세미티에스, 공장 물류 병목 제거로 반도체 캐파 지원

[디지털투데이 석대건 기자] 세미티에스가 반도체 공장 물류 병목을 OHT(공중 이송 장치)와 클린 컨베이어 혼용으로 해소하는 전략을 앞세우며, 질소(N2) 퍼지 시스템 신사업까지 확장하겠다는 청사진을 공개했다.

세미티에스는 9일 서울 여의도에서 기자간담회를 열고 반도체 자동 물류 반송 시스템(AMHS) 핵심 기술과 상장 후 성장 전략을 발표했다. 민남홍 대표는 "세미티에스는 기술적 진입장벽이 높은 전공정 시장에서 글로벌 팹들의 수율과 캐파 향상을 책임지는 신뢰의 파트너로 자리매김했다"며 "이번 코스닥 상장을 발판 삼아 AMHS 분야의 글로벌 기업으로 거듭나겠다"고 말했다.

민 대표는 반도체 공장 물류의 주력인 OHT는 일본 2개사가 전 세계 시장의 90%를 독과점하고 있으나, 대수를 무한정 늘릴 수 없어 일정 수준 이상에서는 정체로 효율이 떨어진다고 설명했다. 이에 세미티에스는 OHT를 주력으로 쓰되 클린 컨베이어를 서브 시스템으로 혼합 운용함으로써 이송·대기·보관 흐름을 분산시키고, 반도체 공장 생산량을 끌어올리는 전략을 구사한다. 민 대표는 "OHT 시스템 단독 대비 컨베이어를 섞어 사용하면 생산량이 올라간다"고 강조했다. 현재 회사는 반도체 전공정 클린 컨베이어 분야에서 한국과 중국 모두 솔(Sol) 벤더 지위를 유지하고 있다.

특히 장비 못지 않은 소프트웨어 경쟁력을 강조했다. 민 대표는 "외부에서는 하드웨어 회사로 보이지만 실질적으로는 실시간 대량 데이터를 분산 처리하는 아키텍처를 보유한 소프트웨어 회사에 더 가깝다"며 "이 분산 제어 기술이 타사보다 시간당 반송량을 높여 전공정 솔벤더 지위를 지키는 핵심"이라고 설명했다. PCB 설계부터 펌웨어, 하드웨어, 소프트웨어, 서버까지 전 스택을 자사 인력으로 구성해 고객 요구사항에 즉각 대응하는 체제도 갖추고 있다. 현재 수주잔고는 273억원 수준으로, 민 대표는 올해 창사 이래 사상 최대 매출을 예상한다고 밝혔다.

세미티에스는 차세대 물류 플랫폼으로 공정 이송 로봇 개발에도 나선다. 기존 OHT가 단선 레일을 따라 이동해 반도체 공장당 약 1000대가 투입 한계인 반면, 세미티에스가 개발 중인 차세대 이송 로봇은 천장에 평면형 주행 공간을 구성해 좌회전·우회전·유턴이 자유롭다.

이 구조에서는 AI 알고리즘 기반 경로 탐색과 실시간 상태 모니터링을 결합해 약 600대로 OHT 1000대에 준하는 생산량을 소화할 수 있다고 세미티에스는 설명했다. 로봇 고장 시에는 별도 레스큐 로봇이 출동해 회수하는 방식으로 운용 연속성을 확보한다. 민 대표는 향후 2~3년 내 개발 완료를 목표로 하고 있다고 밝혔다.

탈부착 가능한 비개조형 질소 퍼지 시스템 'S플레이트' [사진: 세미티에스]

◆'S플레이트'로 워런티 리스크 없이 N2 주입

세미티에스는 컨베이어 기반 물류 개선에 더해 질소 퍼지 시스템을 신규 매출 축으로 키운다. 10나노 이하 첨단 공정과 HBM 등 7nm 이하 공정에서는 웨이퍼 보관 박스에 N2 이너트 가스를 주입하면 수율이 약 3% 개선된다. 이 수치는 학술지에 근거한 업계 공통 데이터로, N2 주입 자체의 효과다. 회사는 여기에 비개조형으로 고객사 맞춤 방식을 더했다.

기존 방식은 로드포트를 장비에서 탈착·분해한 뒤 N2 주입을 위한 타공과 파이프라인 작업 후 재조립하는 '개조' 절차를 거쳤다. 만약 이를 장비 제조사의 동의 없이 이를 진행하면 보증(워런티)이 소멸된다. 이에 세미티에스는 두께 3mm의 'S플레이트'를 로드포트 위에 얹는 것만으로 N2 주입이 가능한 비개조형 솔루션을 개발했다고 강도했다. N2 공급 배관은 장비 내부를 통과하지 않고 로드포트 측면을 따라 외부로 빠져 제어기로 연결되는 방식이다.

민 대표는 "장비 보증 범위를 지키면서 수율을 올릴 수 있다는 점이 고객사에 어필됐다"며 "현재 한국과 해외에서 퀄 테스트를 진행 중이며 올해 안에 결과가 나올 것"이라고 말했다.