[디지털투데이 석대건 기자] 반도체 장비 전문기업 아이에스티이는 SK하이닉스로부터 HBM 전용 풉크리너 장비 공급 계약을 추가 수주했다고 9일 밝혔다. 오는 7월 21일까지 해당 장비를 공급할 예정이다. 아이에스티이는 지난 1월에도 SK하이닉스로부터 같은 장비를 수주한 바 있다.

풉크리너는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 이송·보관되는 풉 내부 오염원을 제거해 공정 안정성을 높인다. HBM을 중심으로 한 고부가 메모리 공정에서는 웨이퍼 이송 및 보관 과정에서의 청정도 관리와 공정 신뢰성 확보가 중요해지면서 해당 장비 역시 관심도가 높아지고 있다.

이번 수주는 전·후공정 HBM 보완 및 신규 투자 수요를 동시에 확보했다는 점에서 의미가 크다고 회사는 강조했다. 아이에스티이는 풉크리너를 기반으로 풉 인스펙션 복합장비, PECVD 등 반도체 공정 장비 라인업을 고도화하고 있다. 고부가 메모리 공정 및 차세대 반도체 생산 환경에 대응하는 장비 공급을 지속적으로 확대해 나갈 계획이다.

아이에스티이 관계자는 "HBM 및 DDR5 디램 증산에 따른 풉크리너 수요가 지속 이루어질 것"이라고 말했다.

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