가천대, 2030년까지 83억 투입해 첨단 수차보정 전자현미경 구축
||2025.06.25
가천대학교(총장 이길여) 바이오나노융합소재 연구센터가 정부 지원을 받아 첨단 반도체 연구 인프라 구축에 나선다.
가천대는 2030년까지 총 83억원 국비를 투입해 '원자단위 소자 특성 매핑 특화 수차보정 투과전자현미경(Cs-corrected TEM)'을 도입한다고 25일 밝혔다.
이번에 들어서는 장비는 원자 수준에서 반도체 소자의 구조와 특성을 정밀하게 분석할 수 있는 수차보정 투과전자현미경이다. 에너지 분산 분광기(EDS), 전자 에너지 손실 분광기(EELS), 고속 전자빔 측정기(4D-STEM), 전자빔 유도 전류 측정 시스템(EBIC), 로렌츠 렌즈, 실시간 전압·자기장 인가 홀더, 진공 이송 냉각 홀더 등 다양한 첨단 하드웨어가 함께 구축된다.
가천대는 이를 통해 국내 대학 최초로 서브나노미터(10억분의 1m)급 반도체 소자의 특성 매핑과 오퍼란도(Operando, 실제 작동 환경에서의 실시간 분석) 연구가 가능해질 것으로 기대하고 있다.
이 사업은 지난 4월 교육부 '2025년 인프라 고도화 지원과제'에 선정되면서 추진됐다. 대학 내 첨단 연구장비와 기반시설을 강화해 미래 혁신 연구를 촉진하고, 고부가가치 연구 생태계 조성을 목표로 한다.
연구에는 윤상문 교수(반도체물리학과), 최두호·이수길·엄기태·진강태 교수(반도체공학과), 조의식 교수(전자공학과) 등 관련 교수진이 참여해, 차세대 반도체 소자 연구에 본격적으로 나설 예정이다.
가천대 관계자는 “최첨단 분석 인프라를 바탕으로 반도체 분야의 혁신적 연구 성과 창출과 산업계 협력 확대에 기여하겠다”고 말했다.
성남=김동성 기자 estar@etnews.com
